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Ácido fosfórico de alta pureza esencial para la fabricación de microelectrónica avanzada, incluidos circuitos integrados a gran escala y pantallas de cristal líquido de película delgada (TFT-LCD). Este grado es fundamental para los procesos de limpieza y grabado de virutas, lo que afecta directamente el rendimiento, el rendimiento eléctrico y la confiabilidad de los componentes electrónicos.
Industrias objetivo:Semiconductores, fabricación de productos electrónicos, tecnología de visualización.
| Elementos | Unidades | E1 (grado LCD) | E2 (grado IC) |
|---|---|---|---|
| H3PO4 | % | 85-87 | 85-87 |
| H3PO3 | % | ≤0,005 | ≤0,001 |
| NO3 | mg/kg | ≤5 | ≤0,5 |
| SO4 | mg/kg | ≤10 | ≤5 |
| CL | mg/kg | ≤1 | ≤0,5 |
| Alabama | µg/kg | ≤200 | ≤50 |
| B | µg/kg | ----- | ≤50 |
| sb | µg/kg | ≤3000 | ≤300 |
| Como | µg/kg | ≤100 | ≤20 |
| Licenciado en Letras | µg/kg | ≤100 | ≤20 |
| Cd | µg/kg | ≤100 | ≤20 |
| California | µg/kg | ≤1000 | ≤50 |
| cr | µg/kg | ≤100 | ≤20 |
| Co | µg/kg | ≤100 | ≤20 |
| Cu | µg/kg | ≤50 | ≤20 |
| Georgia | µg/kg | ≤100 | ≤10 |
| au | µg/kg | ≤100 | ≤10 |
| fe | µg/kg | ≤300 | ≤50 |
| Pb | µg/kg | ≤100 | ≤20 |
| li | µg/kg | ≤100 | ≤10 |
| magnesio | µg/kg | ≤100 | ≤20 |
| Minnesota | µg/kg | ≤100 | ≤20 |
| Ni | µg/kg | ≤100 | ≤20 |
| k | µg/kg | ≤100 | ≤20 |
| Ag | µg/kg | ≤100 | ≤20 |
| N / A | µg/kg | ≤500 | ≤50 |
| sn | µg/kg | ------ | ≤10 |
| Sr. | µg/kg | ≤100 | ≤20 |
| Ti | µg/kg | ≤100 | ≤50 |
| zinc | µg/kg | ≤100 | ≤50 |
| Gránulo | µm, piezas/ml | ------ | ----- |
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