|
Фосфорная кислота с чистотой 85% для сельскохозяйственного производства
Фосфорная кислота - электронный класс
Высокочистая фосфорная кислота для производства передовой микроэлектроники
Фосфорная кислота электронного класса тщательно производится путем химических реакций, включающих элементарный фосфор или оксид фосфора, или путем расширенной очистки готовой фосфорной кислоты.Производственный процесс точно контролируется, чтобы обеспечить требуемое содержание и гранулированную чистоту ионов щелочных металлов и ионов примеси тяжелых металлов, удовлетворяя жестким требованиям микроэлектронной промышленности.
Целевые отрасли и применения:Широко используется в сверхбольших масштабных интегральных схемах, тонкопленочных жидкокристаллических дисплеях и других микроэлектронных отраслях промышленности для критической очистки чипов и процессов влажного гравирования.
Атрибуты продукта
Технические спецификации
| Позиции | Объекты | E1 (класс LCD) | E2 (класс IC) |
|---|---|---|---|
| H3PO4 | % | 85-87 | 85-87 |
| H3PO3 | % | ≤ 0.005 | ≤ 0.001 |
| NO3 | Мг/кг | ≤ 5 | ≤ 0.5 |
| SO4 | Мг/кг | ≤ 10 | ≤ 5 |
| Кл | Мг/кг | ≤ 1 | ≤ 0.5 |
| Аль. | Мкг/кг | ≤ 200 | ≤ 50 |
| В. | Мкг/кг | - Я не знаю. | ≤ 50 |
| Sb | Мкг/кг | ≤ 3000 | ≤ 300 |
| Как | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Ба | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Cd | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Примерно | Мкг/кг | ≤ 1000 | ≤ 50 |
| КР | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| О | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Ку | Мкг/кг | ≤ 50 | ≤ 20 |
| Пошли. | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 10 |
| Оу | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 10 |
| Фэ | Мкг/кг | ≤ 300 | ≤ 50 |
| Pb | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Ли | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 10 |
| Мг | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Мн | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Ни. | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| К | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| АГ | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Нет. | Мкг/кг | ≤ 500 | ≤ 50 |
| Сн | Мкг/кг | Я не знаю. | ≤ 10 |
| Sr | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Ти | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 50 |
| Zn | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 50 |
| Гранулы | μm, шт/мл | Я не знаю. | - Я не знаю. |
