مادة كيميائية عالية النقاء لتصنيع الميكروإلكترونيات المتقدمة
الحمض الفوسفوري الالكتروني هو سائل بلا لون ودون رائحة وشفاف ضروري لعمليات التصنيع عالية الدقة في صناعة الميكروإلكترونيات. مع نقطة انصهار 42.35 درجة مئوية,يظهر رد الفعل المسيطر عليه،إطلاق حرارة كبيرة عند الاتصال مع المواد الحرارية القوية مع الحفاظ على توازن الحموضة أقوى من الأحماض الضعيفة مثل حمض الخل ولكن أضعف من الأحماض المعدنية القوية.
| البنود | الوحدات | E1 (درجة LCD) | E2 (درجة IC) |
|---|---|---|---|
| H3PO4 | % | 85-87 | 85-87 |
| H3PO3 | % | ≤0.005 | ≤0.001 |
| NO3 | ملم/كيلوغرام | ≤5 | ≤0.5 |
| SO4 | ملم/كيلوغرام | ≤10 | ≤5 |
| Cl | ملم/كيلوغرام | ≤1 | ≤0.5 |
| ال | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤200 | ≤50 |
| ب | ميكروغرام/كيلوغرام | .... | ≤50 |
| Sb | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤3000 | ≤300 |
| كما | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤20 |
| با | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤20 |
| سي دي | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤20 |
| حوالي | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤1000 | ≤50 |
| سي سي | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤20 |
| كـ | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤20 |
| كيو | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤50 | ≤20 |
| غ. | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤10 |
| أوو | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤10 |
| في | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤300 | ≤50 |
| Pb | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤20 |
| لي | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤10 |
| مگ | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤20 |
| م | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤20 |
| نـي | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤20 |
| ك | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤20 |
| أجي | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤20 |
| لا | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤500 | ≤50 |
| (إس إن) | ميكروغرام/كيلوغرام | ------ | ≤10 |
| (سير) | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤20 |
| (تاي) | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤50 |
| زين | ميكروغرام/كيلوغرام | ≤100 | ≤50 |
| الحبيبات | μm،pcs/ml | ------ | .... |