|
مادة كيميائية عالية النقاء لتصنيع الإلكترونيات الدقيقة المتقدمة
حمض الفوسفوريك بدرجة إلكترونية هو سائل عديم اللون وعديم الرائحة وشفاف ضروري لعمليات التصنيع عالية الدقة في صناعة الإلكترونيات الدقيقة. مع نقطة انصهار تبلغ 42.35 درجة مئوية، فإنه يظهر تفاعلية متحكم بها، ويطلق حرارة كبيرة عند ملامسته للمواد الحفر القوية مع الحفاظ على توازن الحموضة أقوى من الأحماض الضعيفة مثل حمض الخليك ولكن أضعف من الأحماض المعدنية القوية.
| العناصر | الوحدات | E1 (درجة LCD) | E2 (درجة IC) |
|---|---|---|---|
| H3PO4 | % | 85-87 | 85-87 |
| H3PO3 | % | ≤0.005 | ≤0.001 |
| NO3 | ملغ/كجم | ≤5 | ≤0.5 |
| SO4 | ملغ/كجم | ≤10 | ≤5 |
| Cl | ملغ/كجم | ≤1 | ≤0.5 |
| Al | ميكروغرام/كجم | ≤200 | ≤50 |
| B | ميكروغرام/كجم | ----- | ≤50 |
| Sb | ميكروغرام/كجم | ≤3000 | ≤300 |
| As | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤20 |
| Ba | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤20 |
| Cd | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤20 |
| Ca | ميكروغرام/كجم | ≤1000 | ≤50 |
| Cr | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤20 |
| Co | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤20 |
| Cu | ميكروغرام/كجم | ≤50 | ≤20 |
| Ga | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤10 |
| Au | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤10 |
| Fe | ميكروغرام/كجم | ≤300 | ≤50 |
| Pb | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤20 |
| Li | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤10 |
| Mg | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤20 |
| Mn | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤20 |
| Ni | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤20 |
| K | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤20 |
| Ag | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤20 |
| Na | ميكروغرام/كجم | ≤500 | ≤50 |
| Sn | ميكروغرام/كجم | ------ | ≤10 |
| Sr | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤20 |
| Ti | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤50 |
| Zn | ميكروغرام/كجم | ≤100 | ≤50 |
| حبيبات | ميكرومتر، قطعة/مل | ------ | ----- |
english
Русский
Español
العربية
