|
Химическое вещество высокой чистоты для производства передовой микроэлектроники
Фосфорная кислота - бесцветная, без запаха и прозрачная жидкость, необходимая для высокоточных производственных процессов в микроэлектронной промышленности.,проявляет контролируемую реактивность,высвобождение значительного тепла при контакте с сильными экантами при сохранении равновесия кислотности, более сильного, чем у слабых кислот, таких как уксусной кислоты, но более слабого, чем у сильных минеральных кислот.
| Позиции | Объекты | E1 (класс LCD) | E2 (класс IC) |
|---|---|---|---|
| H3PO4 | % | 85-87 | 85-87 |
| H3PO3 | % | ≤ 0.005 | ≤ 0.001 |
| NO3 | Мг/кг | ≤ 5 | ≤ 0.5 |
| SO4 | Мг/кг | ≤ 10 | ≤ 5 |
| Кл | Мг/кг | ≤ 1 | ≤ 0.5 |
| Аль. | Мкг/кг | ≤ 200 | ≤ 50 |
| В. | Мкг/кг | - Я не знаю. | ≤ 50 |
| Sb | Мкг/кг | ≤ 3000 | ≤ 300 |
| Как | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Ба | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Cd | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Примерно | Мкг/кг | ≤ 1000 | ≤ 50 |
| КР | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| О | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Ку | Мкг/кг | ≤ 50 | ≤ 20 |
| Пошли. | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 10 |
| Оу | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 10 |
| Фэ | Мкг/кг | ≤ 300 | ≤ 50 |
| Pb | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Ли | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 10 |
| Мг | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Мн | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Ни. | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| К | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| АГ | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Нет. | Мкг/кг | ≤ 500 | ≤ 50 |
| Сн | Мкг/кг | Я не знаю. | ≤ 10 |
| Sr | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 20 |
| Ти | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 50 |
| Zn | Мкг/кг | ≤ 100 | ≤ 50 |
| Гранулы | μm, шт/мл | Я не знаю. | - Я не знаю. |
english
Русский
Español
中文
العربية
